전자현미경 안에서 극미세 나노재료를 관찰, 조작하면서 특성까지 분석하는 첨단기술이 국내 연구진에 의해 개발됐다.
과학기술부는 성균관대 이영희 교수팀이 이 같은 기술을 개발, 15일부터 서울과 대전 등 5개 도시에서 열리는 ‘2005년 국가지정연구실(NRL)사업’ 연구성과 발표회에서 공개한다고 13일 밝혔다.
이 교수 팀은 전자현미경 안에 매우 작은 나노 조작 장치를 설치, 나노 재료를 움직이거나 조작하고 소자를 제작하면서 특성까지 규명할 수 있게 됐다고 설명했다.
나노 크기의 물체를 부착할 수 있는 탐침을 붙인 2개의 ‘나노 팔’로 나노 재료를 고정, 1나노미터의 정밀도로 3차원 방향으로 물체를 이동시킬 수 있고 탐침 끝에 탄소나토튜브를 부착해 각종 나노 재료를 조작하면서 소자를 제작할 수 있다는 얘기다.
이로써 전자빔과 전류 등을 이용해 나노 재료의 접합을 제어해 소자의 특성을 분석할 수 있게 됐다. 특히 나노 소자가 공기 중에 노출돼 특성이 변하는 단점을 방지할 수 있으며 소자 제작을 위해 특별한 반도체 공정을 거치지 않아도 된다.
머리카락 두께의 약 1,000분의 1에 불과한 미세 나노 재료를 손쉽게 조작할 수 있게 되면 반도체와 복합체, 디스플레이, 의학 등 다양한 분야에서 나노 재료 활용이 크게 늘어나는 등 나노 재료 연구에 일대 진전이 이뤄질 것으로 기대된다.
이 교수는 “눈에 보이지 않는 나노 재료를 눈으로 직접 확인하면서 소자를 제작하고 특성을 분석할 수 있어 나노 재료 및 소자 기초연구에 큰 도움이 될 것”이라고 말했다.
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